کامل آوتوماتیک مافوق صوت اسپری پازل

سیستم سمپاشی فتوریسیست مافوق صوت

سیستم سمپاشی نوررسانی مافوق صوت یک راه حل کامل برای پوشش نیمه هادی با فیلم یکنواخت photoresist است.

در مقایسه با پوشش اسپین سنتی، پوشش فتورسیست اسپری مافوق صوت مزایایی در رسوب پوشش یکنواخت تر دارد، به ویژه در شیار نسبت جنبه بالا و ساختار شیار V شکل، پوشش اسپین مرکز نمی تواند پوشش یکنواخت را در امتداد دیواره جانبی رسوب کند تا یک فیلم تشکیل شود، و فتورزیست بیش از حد در پایین حفره رسوب وجود ندارد. ثابت شده است که سمپاشی مستقیم با تکنولوژی مافوق صوت یک روش قابل اعتماد و موثر برای واریز photoresist بر روی میکرو ساختار سهD است، در نتیجه کاهش شکست تجهیزات ناشی از قرار گرفتن در معرض فلز بیش از حد به مقاومت در برابر پوشش.

ترکیب تجهیزات:

کل دستگاه از nozzle atomizing مافوق صوت تشکیل شده است, منبع تغذیه رانندگی ویژه, سه محور سیستم سرو پیوند, سیستم عامل هوشمند, سیستم تامین مایع, دستگاه شکل دهی هوا با سرعت پایین, پوسته و جعبه, و غیره.

مزایای:

پوشش فیلم یکنواخت بالا برای پروفایل های مختلف سطح.

شیار با نسبت جنبه بالا را می توان با یکنواختی بالا پوشش داد.

اسپری غیر گرفتگی.

لایه های تک میکرون نازک را می توان با یکنواختی بالا رسوب کرد.

اثبات شده فرایند اسپری قابل تکرار است.

یکنواختی بالا: سمپاشی مافوق صوت یک فناوری سمپاشی دقت صنعتی با کارایی بالا است که برای یکنواختی بالای زیرمیکرون و پوشش نانو فیلم استفاده می شود.

صرفه جویی در مواد و حفاظت از محیط زیست: به دلیل اینکه کنترل اسپری کم فشار آسان نیست و مایع به جای ریباند از بستر بر روی بستر افت می کند، می تواند اطمینان حاصل کند که می توان مقدار اسپری بیش را به طور قابل توجهی کاهش داد، و مقدار زیادی از مواد را می توان نجات داد و انتشار محیط زیست را کاهش داد. میزان استفاده از پوشش سمپاشی مافوق صوت بیش از 4 برابر است که از سنتی دو مایع پاشش.

برنامه:

برای ویفرهای MEMS و سایر بسترها با مورفولوژیک های مختلف.

تجهیزات سمپاشی مافوق صوت عمدتاً در سلول های سوختی، سلول های فتوولتیک فیلم نازک، پوشش های خورشیدی فیلم نازک، سلول های خورشیدی پروفسکیت، سلول های خورشیدی، پوشش گرافن، سلول های فتوولتایک سیلیکون، پوشش شیشه ای، مدارهای الکترونیکی و صنایع دیگر مورد استفاده قرار می گیرد. سر اسپری را می توان به محلول های مختلف اعمال کرد، فاضلاب، مایع شیمیایی و مخاط روغن نیز می تواند اتمیزه شود.

تگ های محبوب: تمام اتوماتیک سونوگرافی اسپری خیره کننده, چین, تامین کنندگان, تولید کنندگان, کارخانه